ダイヤモンドライクカーボン膜

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発明の名称	ダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法
技術分野	ものづくり, 環境／有機化学／無機化学
出願日	平成１９年４月１３日
出願番号	特願２００７－１０６４９３
公開番号	特開２００８－２６０６７０
登録番号	特許第５２４０９７８号
出願人	国立大学法人電気通信大学
発明者	田中勝己チュウチャオキョン中村恭子
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概要	【特許請求の範囲】【請求項１】サファイア単結晶を含む基体を、触媒なしで、常圧の炭化水素ガス含有雰囲気中で１０００℃以上に加熱することにより、前記基体の表面上に、炭化水素ガスの熱分解によるダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程を有することを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。【請求項２】前記加熱時間は６０分以上であることを特徴とする請求項１記載のダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。【請求項３】前記加熱時間経過後、前記炭化水素ガスの供給を停止し、後処理用のガスを供給しつつ温度を徐々に低下させる工程をさらに有することを特徴とする請求項１または２記載のダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。【請求項４】前記炭化水素ガスは、プロパンを含有するガスであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。【請求項５】前記炭化水素ガスに水素ガスを混合することを特徴とする請求項４記載のダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。

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