【要約】
【課題】 標識の有無にかかわらず、ポンプ光の励起で生じる複数の物理現象を同時に観測する。
【解決手段】 光学測定装置は、試料を励起するポンプ光を出力する第1光源と、波長の異なる2以上のプローブ光を出力する第2光源と、前記2以上のプローブ光を結合させるビームコンバイナと、前記ポンプ光と結合された前記2以上のプローブ光を試料に導く光学系と、前記ポンプ光で励起された前記試料を透過した、または反射した前記2以上のプローブ光を前記波長ごとに検出する光検出器と、前記光検出器から出力されるプローブ信号をロックイン検出して前記試料に生じた2以上の物理現象を同時かつ個別に検出するロックイン増幅器と、を有する。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
試料を励起するポンプ光を出力する第1光源と、波長の異なる2以上のプローブ光を出力する第2光源と、前記2以上のプローブ光を結合させるビームコンバイナと、前記ポンプ光と、結合された前記2以上のプローブ光を試料に導く光学系と、前記ポンプ光で励起された前記試料を透過した、または反射した前記2以上のプローブ光を前記波長ごとに検出する光検出器と、前記光検出器から出力されるプローブ信号をロックイン検出して、前記試料に生じた2
以上の物理現象を同時かつ個別に検出するロックイン増幅器と、を有することを特徴とする光学測定装置。
【請求項2】
前記2以上の物理現象の測定モードを選択するモード選択部、をさらに有し、前記モード選択部は、前記ポンプ光の入射により前記試料に生じる誘導放出利得、誘導放出蛍光強度減少、光熱屈折率変化、または誘導放出寿命を測定するモードを有することを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。
【請求項3】
前記第1光源は、波長の異なる2以上のポンプ光を出力し、前記ビームコンバイナは、前記2以上のポンプ光を結合し、前記2以上のプローブ光のうちの1のプローブ光で、前記2以上のポンプ光の照射により生じる異なる光熱屈折率変化または異なる誘導放出寿命を同時かつ個別に測定することを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。
【請求項4】
前記2以上のプローブ光と、前記2以上のポンプ光は、それぞれ異なる変調周波数で強度変調されており、前記ロックイン増幅器は、前記2以上のポンプ光の各々と、前記1のプローブ光とのビート周波数を検出することを特徴とする請求項3に記載の光学測定装置。
【請求項5】
前記2以上のプローブ光と、前記ポンプ光は、それぞれ異なる変調周波数で強度変調されており、前記ロックイン増幅器は、前記2以上のプローブ光の各々と、前記ポンプ光とのビート周波数を検出することを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。
【請求項6】
前記光検出器から出力されたプローブ信号と、対応するプローブ光を分岐した参照光の信号の強度比を一定にして差分を検出するバランス検出器、
をさらに有し、前記ロックイン増幅器は、前記バランス検出器の出力をロックイン検出することを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の光学測定装置。
【請求項7】
前記第2光源は、2以上の単色レーザーを有することを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の光学測定装置。
【請求項8】
前記第1光源は、2以上の単色レーザーを有することを特徴とする請求項3~7のいずれか1項に記載の光学測定装置。
【請求項9】
第1光源から試料を励起するポンプ光を出力し、第2光源から波長の異なる2以上のプローブ光を出力し、前記2以上のプローブ光を結合させ、前記ポンプ光と、結合された前記2以上のプローブ光を試料上に走査し、前記ポンプ光で励起された前記試料を透過した、または反射された前記2以上のプローブ光を前記波長ごとに検出し、検出されたプローブ信号をロックイン検出して、前記2以上のプローブ光で、前記ポンプ光の入射により前記試料に生じた2以上の物理現象を、同時かつ個別に測定する、ことを特徴とする光学測定方法。
【請求項10】
前記2以上の物理現象の測定モードの入力に応じて、前記ポンプ光の入射により生じる誘導放出利得、誘導放出蛍光強度減少、光熱屈折率変化、及び誘導放出寿命のうちの少なくとも2つを同時に測定することを特徴とする請求項9に記載の光学測定方法。
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