ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置および形成方法

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発明の名称	ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置および形成方法
技術分野	ものづくり
出願日	平成26年5月12日
出願番号	特願2014-98357
公開番号	特開2014-237890
登録番号
出願人	国立大学法人電気通信大学
発明者	西永康隆田中勝己
特許公報	PDFのダウンロードはこちらから
概要	【要約】【課題】成膜に要する時間を短縮することができ、且つ膜品質を向上させることが可能なダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置およびその形成方法を提供する。【特許請求の範囲】【請求項１】　ダイヤモンドライクカーボン膜を成膜する成膜対象物を配置し、成膜用ガスおよび前記成膜用ガス以外のガスを流動させる流動経路と、水素ガス、窒素ガスまたはアルゴンガスの何れかを含むキャリアガスを所定流量で前記流動経路に供給するキャリアガス供給源と、ケトン体、アルコール類またはカルボン酸の何れかのガスから成る炭素源を所定流量で前記流動経路に供給する炭素源ガス供給源と、前記キャリアガス供給源および前記炭素源ガス供給源から前記流量経路へのガス流量を制御するガス制御部と、前記流動経路の温度を上昇させる加温部と、前記流動経路内の温度が所定温度となるように前記加温部を制御する温度制御部と、を備え、前記ガス制御部は、前記流動経路が成膜温度に達するまで、前記キャリアガスを前記キャリアガス供給源から前記流動経路に供給するように制御すると共に、前記流動経路が成膜温度に達した際に、炭素源が所定濃度で含まれるように、前記成膜用ガスを前記キャリアガス供給源および前記炭化水素ガス供給源から前記流動経路に所定流量で供給するように制御することを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置。【請求項２】　前記ガス制御部は、成膜完了後において、前記キャリアガス供給源から供給されるキャリアガスを前記流動経路に供給するように制御することを特徴とする請求項１に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置。【請求項３】　前記ガス制御部は、成膜前と成膜後とで、前記キャリアガスの種類を変更するように制御することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置。【請求項４】　前記成膜温度は、１０００～１４００℃であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置。【請求項５】　前記成膜用ガスの前記炭素源と前記成膜用ガス以外のモル比が０．１８～０．３０：１．０であることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置。【請求項６】　前記ケトン体は、アセトンであることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか１項に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置。【請求項７】　前記キャリアガス供給源およびガス制御部によるガスの供給は、バブリングを経由して行われることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置。【請求項８】　前記成膜対象物は、所定のセラミックまたは所定の金属で構成されることを特徴とする請求項１から請求項７の何れか１項に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の成膜装置。【請求項９】　水素ガスを流動させる流動経路に、ダイヤモンドライクカーボン膜を成膜する成膜対象物を配置する工程と、前記水素ガスを所定流量で前記流動経路に流すと共に前記成膜対象物を室温から所定温度まで上昇させる工程と、前記所定温度に達した際に、前記水素ガスをキャリアガスとして炭素源であるケトン体、アルコール類またはカルボン酸の何れかを所定の濃度で含む成膜用ガスを前記流動経路に所定時間にわたって流動させる工程と、前記所定温度の状態を所定時間にわたって保持する工程とを有することを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。【請求項１０】　前記炭素源としてのケトン体は、アセトンであることを特徴とする請求項９に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。【請求項１１】　前記成膜対象物は、セラミックまたは金属で構成されることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。【請求項１２】　前記成膜用ガスを流す前に、前記水素ガスを流動させることにより、前記成膜対象物の表面について前記水素ガスの還元作用により不純物除去を行うことを特徴とする請求項９から請求項１１の何れか１項に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。【請求項１３】　前記成膜対象物の表面には、金属からなる触媒が塗布されていることを特徴とする請求項９から請求項１２の何れか１項に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。【請求項１４】　前記金属からなる触媒は、セラミックで構成されることを特徴とする請求項１３に記載のダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。（以下省略）

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